超聲波清洗設備主要由三部分組成，即超聲波發生器、超聲波換能器和清洗槽。

超聲波發生器也就是通常所說的超聲波電箱，它的作用是把市電轉換成與換能器相匹配的高頻交流電信號。超聲波換能器通常置于清洗槽底部，但也有安裝在清洗槽側壁的。當要求功率密度大時，換能器一般采用夾心式壓電換能器。由于液體負載是輕負載，為增大換能器的輻射阻，提高效率，所以采用喇叭型換能器來增大輻射面積。

在超聲波清洗中，要求一個超聲波發生器同時驅動多個換能器。這時要求換能器的特性，尤其是共振頻率一致。要做到這一點，實際上很困難，為此設計出了半穿孔寬頻帶夾心換能器結構。

而超聲波清洗槽，一般采用的是不銹鋼材料制成的，因為不銹鋼強度高、不生銹、抗一般化學腐蝕。同時為了配合盡量減少聲能損失，槽底不宜太厚，一般取1.5～3mm。